YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-20 20:53:15 浏览:9819
来源:标准资料网
基本信息
| 标准名称： | 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法 |
| 发布部门： | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： | 2012-11-07 |
| 实施日期： | 2013-03-01 |
| 首发日期： | |
| 作废日期： | |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2013-03-01 |
适用范围
本方法规定了用椭圆偏振测试方法测量生长或沉积在硅衬底上的绝缘体薄膜厚度及折射率的方法。
本方法适用于薄膜对测试波长没有吸收和衬底对测试波长处不透光、且已知测试波长处衬底折射率和消光系数的绝缘体薄膜厚度及折射率的测量。对于非绝缘体薄膜，满足一定条件时,方可采用本方法。
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所属分类： 能源 核技术 能源 核技术综合 技术管理 能源和热传导工程 能源和热传导工程综合
【英文标准名称】:StandardTestMethodsforTotalNormalEmittanceofSurfacesUsingInspection-MeterTechniques
【原文标准名称】:用监测仪技术测定表面正常总辐射的标准试验方法
【标准号】:ASTME408-1971(2008)
【标准状态】:现行
【国别】:美国
【发布日期】:1971
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:E21.04
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:emittance;infraredemittance;materialradiativeproperty;normalemittance;radiativeheattransfer;spacecraftthermalcontrol;thermalradiation;Emittance;Infrared(IR)analysis--aerospacematerials/applications;Infraredspectroscopy;Thermal
【摘要】:1.1Thesetestmethodscoverdeterminationofthetotalnormalemittance(Note)ofsurfacesbymeansofportable,inspection-meterinstruments.Note18212;Totalnormalemittance(x03B5;N)isdefinedastheratioofthenormalradianceofaspecimentothatofablackbodyradiatoratthesametemperature.Theequationrelatingx03B5;Ntowavelengthandspectralnormalemittance[x03B5;N(x03BB;)]iswhere:Lb(x03BB;,T)
【中国标准分类号】:J04
【国际标准分类号】:17_040_20
【页数】:3P.;A4
【正文语种】:英语
【英文标准名称】:Nanotechnologies-Generationofmetalnanoparticlesforinhalationtoxicitytestingusingtheevaporation/condensationmethod.
【原文标准名称】:纳米技术.使用蒸发冷凝法测试吸入毒性的金属纳米粒子的生成
【标准号】:NFT16-302-2011
【标准状态】:现行
【国别】:法国
【发布日期】:2011-03-01
【实施或试行日期】:2011-03-02
【发布单位】:法国标准化协会(FR-AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:气溶胶;冷凝;定义(术语);电解;电解分析法;蒸发;纤维;发电;金;吸入;质量浓度;材料测试;测量;测量技术;金属;方法;分析方法;纳米技术;粒度;粒径分析;颗粒;颗粒物质的测定;银;规范(验收);测试;有毒物质;毒性
【英文主题词】:Aerosols;Condensation;Definitions;Electroanalysis;Electro-analyticalmethods;Evaporation;Fibres;Generation;Gold;Inhalation;Massconcentration;Materialstesting;Measurement;Measuringtechniques;Metals;Methods;Methodsofanalysis;Nanotechnology;Particlesize;Particlesizeanalysis;Particles;Particulatemattermeasurement;Silver;Specification(approval);Testing;Toxicmaterials;Toxicity
【摘要】:
【中国标准分类号】:
【国际标准分类号】:07_030
【页数】:30P;A4
【正文语种】:其他
